製品詳細

ESチューブ クリーン・帯電防止チューブ

2421

161

特長
○ 帯電防止性能
○ クリーン
○ 経済性
○ 流体

使用流体: 空気(クリーンエアー)・純水・
フッ素系不活性液体

使用温度範囲: 空気-50℃~+80℃
フッ素系不活性液体-50℃~+50℃

●使用温度と最高圧力の関係(参考データ)
・40℃時 表示圧力の約80%
・60℃時 表示圧力の約60%
・60℃時 表示圧力の約60%

<改善例>
絶縁破壊: 一般樹脂チューブに絶縁流体を流すと、チューブが帯電し、絶縁破壊を引き起こす事があります。また、チューブの帯電により、塵埃が引き寄せられる。
用途
使用配管例: 冷媒配管、静電気を嫌う配管など
使用装置例: 露光装置、ドライエッチング装置、スパッタリング装置、CVD装置、
イオン注入装置、ICテスター、医療電子機器、理化学機器など
内径
Min: 2.5mm ~ Max: 9.56mm
外径
Min: 4mm ~ Max: 12.7mm
耐熱
〜80℃
型式 外径x内径 1巻き長 最高使用圧力 最小曲げ半径 標準色
(mm) (m) (Mpa at 20℃) (mm)
    WH
   ES-4-4×2.5 4×2.5 20 0.7 15
   ES-4-6×4 6×4 25
   ES-4-8×6 8×6 0.5 35
   ES-4-10×8 10×8 60
   ES-4-12×9 12×9 0.6 50
   ES-4-12.7×9.56 12.7×9.56 0.5 50

・改善対策例

・専用継手

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ケミフィット CSE

・お問い合わせ方法

型式、色、長さをご教示ください。

例 ES-4-6×4-WH- 20m

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