製品詳細

半導体装置向け大口径PEEKチューブ

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半導体製造装置配管用大口径PEEKチューブ
半導体製造装置配管用大口径PEEKチューブ
特長
半導体洗浄装置の配管に実績のある口径の大きい(外径3.18mm)PEEKチューブです。
チューブからのメタル成分溶出が極めて少ないこと(例:Cu 0.08μg/L)
チューブ内のパーティクルが極めて少ないこと(例:0.1μmが7.4個/mL)
など、厳しい基準を満たしています。 /参考値
機械強度に優れたPEEKチューブは、フッ素チューブとは段違いの高圧送液(20MPa以上)が可能です。
時間あたり大量の洗浄液を送液することができます。
本製品は、生産ラインに導入したオンライン測定器により、チューブの全長に渡って常時寸法監視しています。
寸法NG箇所は自動的に排出されるため、寸法不良品をお届けすることはございません。
安心してお使いいただけます。
※チューブ両端にはパーティクル混入防止用キャップを装着しています。
用途
半導体洗浄装置の配管等
内径
Min: 1.59mm ~ Max: 2.1mm
外径
Min: 3.18mm ~ Max: 3.18mm
材質
ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)
RoHS2
対応品
耐熱
〜260℃
ベージュ
コード 外径(mm) 内径(mm) 寸法公差(mm) 定尺
   601-04-PEEK-3.18(1/8)×1.59(1/16) 3.18 1.59 内外径±0.05 10m
   601-04-PEEK-3.18(1/8)×2.10 3.18 2.1

※上記寸法公差、定尺以外の長さもお問い合わせください。

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