特長

半導体洗浄装置の配管に実績のある口径の大きい(外径3.18mm）PEEKチューブです。
チューブからのメタル成分溶出が極めて少ないこと（例：Cu　0.08μｇ/L）
チューブ内のパーティクルが極めて少ないこと（例：0.1μmが7.4個/mL）
など、厳しい基準を満たしています。 /参考値
機械強度に優れたPEEKチューブは、フッ素チューブとは段違いの高圧送液（20MPa以上）が可能です。
時間あたり大量の洗浄液を送液することができます。
本製品は、生産ラインに導入したオンライン測定器により、チューブの全長に渡って常時寸法監視しています。
寸法NG箇所は自動的に排出されるため、寸法不良品をお届けすることはございません。
安心してお使いいただけます。
※チューブ両端にはパーティクル混入防止用キャップを装着しています。

用途

半導体洗浄装置の配管等

内径

Min: 1.59mm ～ Max: 2.1mm

外径

Min: 3.18mm ～ Max: 3.18mm

材質

ポリエーテルエーテルケトン（PEEK）

RoHS2

対応品

耐熱

〜260℃

色

ベージュ